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光刻機（886054）板塊短線拉升，美迪凱（688079）漲超10%，波長光電（301421）、洪田股份（603800）、富樂德（301297）、百傲化學（603360）、茂萊光學（688502）等跟漲。相關(guān)ETF方面，半導體設備ETF易方達(159558)漲3.72%，成交額6.54億元，科創(chuàng)半導體ETF華夏(588170)漲2.13%，成交額20.91億元。